2050年净零碳排目标成为各国政府的重要施政目标，陆续将永续议题纳入政策及制定相关之规范，加速企业界针对永续、减碳与环境议题的探讨。国际大厂纷纷响应净零碳排目标，台湾拥有全球最完整的半导体产业聚落及专业分工，其产值已成为最重要的经济指标之一，随着半导体产业之快速成长，如何解决所衍生之环境污染问题、思考发展相关材料的回收或循环再利用，以及降低或取代相关化合物使用量的技术，将成为晶圆代工厂在净零碳排与产品良率平衡中的重要课题。
全球半导体龙头的台积电，自2016年起即携手设备商，合作开发半导体节能绿色机台，将节能规范纳入新机台采购标准规格，为全球首家驱动设备商对先进机台导入节能措施的半导体企业。本局就10家台积电供应链相关厂商有关绿色制造机台之专利技术及案例汇编成手册，藉由案例报导方式说明该些厂商在绿色制造机台发展的现况及趋势，作为半导体供应链相关领域转型绿色制造之参考：https://www.tipo.gov.tw/tw/cp-85-914773-964b5-1.html
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